第525章 分辨率10m(4 / 4)

刻机的分辨率和套刻精度,这工序就不用做了,而且也没法做,这儿没那些东西。

比如蚀刻,看起来简单,腐蚀就行,但实际上背后靠着一整条比较特殊的安全管理线,这边也建立一条那玩意,就搞麻烦了,又不是经常要用到。

就更别提掺杂这些需要设备的工序了,更是没法做。

考虑到显影之后,光刻胶就只剩下了需要的那一部分,试验人员的想法,是再上一次光刻胶,看看两次光刻显影结果的重叠程度。

这也算是个笨办法,如果这种情况下,旧光刻工艺的残余物影响到新一次的光刻胶附着,导致试验效果不好的话,再考虑光刻——送1274蚀刻——光刻这个试验流程。

光是线宽10μm,其实光刻机的制程是到不了10μm的,因为决定光刻机制程的,还有其他参数,其中很重要的一个就是套刻精度,也正是今天高振东最终要测试的东西。

凡是做集成电路,哪怕工艺简单如pmos,都是需要套刻的,因为一次光刻连晶体管都做不出来,更别说形成完整电路了。

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