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第8节 芯片准备(3 / 3)

负责英特尔的芯片设计和芯片制造,

同时,李飞从内心上,认为不必和这人一般见识,不必再继续说下去…,

但为了fm芯片早点量产,早点让fm芯片进入市场变现,李飞不得不展示芯片研发实力,给一点颜色看看,让对方知道什么是研发技术大神。但没有必要再客气了,就命令道:“你不要打断我说话!如我说得没有错的话,cmos工艺流程大概是这样的:

先是准备n型硅片,用以制造nmos和pmos晶体管。(注:os和nmos工艺基础上发展起来的)

再使用湿氧化方法,在硅片上生长设定厚度(如约微米)的二氧化硅层,作为制造p型区的掩蔽层。随后光刻p型区。

接着,光刻出nmos晶体管的p阱区和pmos晶体管的源、漏区后,使用氮化硼片作掺杂源进行硼预淀积。

在淀积硼以后,进行杂质推进扩散,形成nmos晶体管的p阱,在推进扩散的同时,也进行干氧化,接着进行湿氧化预定时间(如20分钟),该二氧化硅层作为光刻n型区的掩蔽层。

如光刻出n型掺杂区,然后进行磷掺杂扩散,形成nmos晶体管的源、漏区;

在磷扩散以后,进行湿氧化预定时间(如20分钟),该二氧化硅层用以制造nmos和pmos栅氧化区的的掩蔽层;

光刻出nmos和pmos晶体管的栅区,然后使用干氧化方法,生成设定厚度的栅二氧化硅层(如500纳米制程),”

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